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《纳米科学与技术》——微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用

题名:微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用

丛书名:纳米科学与技术

出版社:科学出版社

微纳加工

本书分类介绍了几种主要的微纳加工技术,包括:光学曝光、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、激光加工技术、纳米压印技术、离子束技术、薄膜技术和自组装加工,从实用出发,介绍了各种技术的主要工艺过程,特别涉及各种技术根据需要最新发展的一些创新方法;并按几个不同的领域,介绍了微纳加工技术在纳米材料与器件研究中的一些应用实例,包括电学、光学、磁学、生物等其它领域。这些成果深刻影响了当前纳米科学与技术的发展,希望能对从事相关领域研究的读者有所启发和借鉴。

                                                                      图书馆索书号:TB383/7144

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责任编辑:曾珠